Automatisierung von Halbleiterausrüstung
Ein Hersteller von Halbleiterausrüstung nutzte den 110-V-Wechselstrom-Servoverstärker von Highsense, um seine Automatisierungsprozesse zu verbessern. Die Anforderung bestand darin, ein System bereitzustellen, das schnelle Bewegungen bewältigen konnte, während gleichzeitig eine präzise Positionierung empfindlicher Halbleiterwafer gewährleistet war. Die Implementierung unseres Servoverstärkers führte zu einer deutlichen Steigerung der Ausschussquote und zu einer Verringerung der betrieblichen Ausfallzeiten. Die Flexibilität der vom Verstärker unterstützten Protokolle ermöglichte eine einfache Integration in bestehende Systeme und unterstrich damit seine Anpassungsfähigkeit an unterschiedliche Fertigungsumgebungen.