半導体装置製造
Highsense社の高トルクサーボモーターは、半導体製造大手企業のウエハー搬送システムの精度向上に採用されました。当該施設では、既存のモーターが高速かつ高精度な位置決めに必要な十分なトルクを有しておらず、課題を抱えていました。当社の高トルクサーボモーターを導入した後、顧客からは生産 throughput(処理量)が30%向上し、機械的な摩耗・劣化が大幅に低減されたとの報告がありました。当社モーターのマイクロメートルレベルの高精度により、ウエハーは損傷を受けることなく確実に取り扱われ、歩留まり率および全体的な生産性が向上しました。この移行は、単なる生産ラインの最適化にとどまらず、ダウンタイムの削減にも寄与し、Highsenseソリューションが重要インフラ向けアプリケーションにおいても高い信頼性と実効性を発揮することを実証しました。