半導体ウエハー搬送用リニアモータ｜マイクロン精度

Highsenseは、半導体ウエハー搬送装置向けの最先端リニアモーターを提供することで、他社と差別化を図っています。Highsenseのリニアモーターは、極めて脆弱なシリコンウエハーの取り扱いにおいて、比類なき信頼性と高精度を実現するよう設計されています。半導体デバイスの製造には、極めて高い精度と再現性が求められるため、当社のモーター開発もこの課題に焦点を当てて進められてきました。半導体産業向けに、当社の運動制御専門家が一連のリニアモーターおよびリニアサーボドライブを設計しました。これらの装置は、Modbus、EtherCAT、Profinetを含むあらゆる通信インターフェースに対応するだけでなく、ほぼすべてのエンコーダーにも対応しているため、 virtually あらゆるシステムへの導入が極めて容易です。速度と精度という観点では、当社のリニアモーターは最も短い応答時間／バックラッシュ時間を実現しており、高性能アプリケーションに最適です。さらに、当社サーボドライブのモジュール式設計により、容易なカスタマイズが可能であり、お客様の個別の要望にも迅速かつ柔軟に対応できます。Highsenseは、半導体産業における最高水準の品質を約束しており、そのため当社の機器は、最高レベルの性能を保証するため厳格な校正を実施しています。Highsenseからお客様が期待できるのは、革新的な技術、最先端のパフォーマンス、そしてお客様の業務効率向上に対する徹底的なコミットメントの三位一体です。