Fotolitografi Ekipmanlarının Performansının Geliştirilmesi
Fotolitografi aşamasında bir müşteri, yarı iletken cihazlarının kalitesini etkileyen hizalama sorunlarıyla mücadele etmek zorunda kalmıştır. Highsense’ın özel EtherCAT servo sistemleri, müşterinin mevcut ekipmanlarına entegre edilmiştir ve bu da performansta dikkat çekici bir iyileşmeye yol açmıştır. Yeni servo sürücüler, optik bileşenlerin konumlandırılması üzerinde hassas kontrol imkânı sağlamıştır; bu da genel verimliliği %40 oranında artırmıştır. Müşteri, teknolojimizin uygulanmasının yalnızca hizalama sorunlarını çözmediğini, aynı zamanda işletim sırasında oluşan gerilimin azalması nedeniyle ekipmanlarının ömrünü de uzattığını belirtmiştir.