半導体製造装置向け自動化
業界をリードする半導体製造施設において、Highsense社の低ノイズ・高精度サーボドライブを導入したことで、生産効率が大幅に向上しました。当社のサーボドライブはウエハー搬送システムに採用され、マイクロメートルレベルの高精度が不可欠な工程で活用されました。その結果、作業時のノイズが30%削減され、技術者にとってより快適な作業環境が実現するとともに、繊細なウエハー取り扱いに求められる精度は維持されました。同施設では、設備のダウンタイムが減少し、スループットが向上したと報告しており、当社ソリューションが高信頼性・高効果であることを、厳しい要件が求められる環境下で実証しています。