高精度で半導体装置を革新
最近のプロジェクトにおいて、ある大手半導体メーカーがウエハー製造工程の精度向上を図るために、ハイセンス社の「Singleaxis High Precision Servo Type」を導入しました。その結果、位置精度が大幅に向上し、誤差幅を5マイクロメートル未満に低減することに成功しました。このアップグレードにより、生産効率が向上しただけでなく、材料ロスも大幅に削減され、年間コスト削減効果は20%以上に達しました。当社のサーボドライブを統合することで、リアルタイムでのフィードバックおよび調整が可能となり、さまざまな作業条件下でも最適な性能を維持できるようになりました。